气体捕集泵这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵,有以下几种型式。吸附泵:它主要依靠具有大表面的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵吸气剂泵:它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种形式。
气体传输泵气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出,借以达到抽气目的的真空泵,ege接近开关,这种泵基本上有两种类型:变容真空泵利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵,ege光电传感器,气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种:(1) 往复式真空泵:是利用泵腔内活塞做往复式运动,ege探测器,将气体吸入、压缩并排出。因此,又称为活塞式真空泵。
根据对市场需求的---,我们对控制器设定的主要设计参数和预期目标为:(l)泵的单个住复行程的排量为100ml:(2)输出脉冲当量为imm3/脉冲内可调;(3)额定压力为6.3map,小控制压力为0.imap:(4)压力精度小于1%;(5)0一imap调整时间小于100ms(6)容积效率大于97%。泵体设计
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