干式螺杆真空泵:它是一种不用油类(或液体)密封的变容真空泵。液环式真空泵:带有多叶片的转子偏心装在泵壳内,当它旋转时,把液体(通常为水或油)抛向泵壳内形成泵壳同心的环液,环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积,故亦称旋转变容真空泵。
罗茨真空泵:泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子,转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种形式的真空泵。
为了使用方便和各种真空工艺过程的需要,有时将各种真空泵按其性能要求组合起来,sick视觉传感器,以机组型式应用。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等,这些泵是我国---各行业应用真空工艺过程中的主力泵种。
根据对市场需求的---,我们对控制器设定的主要设计参数和预期目标为:(l)泵的单个住复行程的排量为100ml:(2)输出脉冲当量为imm3/脉冲内可调;(3)额定压力为6.3map,小控制压力为0.imap:(4)压力精度小于1%;(5)0一imap调整时间小于100ms(6)容积效率大于97%。泵体设计
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