气镇阀油封机械真空泵的压缩室上开一小孔,ege过程传感器,并装上调节阀,当打开阀并调节入气量,转子转到某一位置,空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比,从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。
根据对市场需求的---,我们对控制器设定的主要设计参数和预期目标为:(l)泵的单个住复行程的排量为100ml:(2)输出脉冲当量为imm3/脉冲内可调;(3)额定压力为6.3map,小控制压力为0.imap:(4)压力精度小于1%;(5)0一imap调整时间小于100ms(6)容积效率大于97%。泵体设计
真空泵的抽气速率泵的抽气速率单位是m3/s或l/s,是指泵装有标准试 验罩,ege接近开关,并按规定条件工作时,从试验罩 流过的气体流量与在试验罩位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。真空泵的抽气量真空泵的抽气量 单位是pam3/s或pal/s。是指 泵入口的气体流量。
真空泵的起动压强真空泵的起动压强单位为pa,它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。
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