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为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国---各行业应用真空工艺过程中的主力泵种。
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通过螺母套7带动壳体1作往复运动。活塞2与柱塞3固定在支架4上。当壳体1向左运动时，活塞缸右腔容积减小，向系统排出压力油，此时柱塞缸腔容积增大，从油箱中吸油。当壳体1向右运动时，活塞缸右腔容积增大，从油箱中吸油，此时柱塞缸腔容积减小，向系统排出压力油
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螺杆泵和其它容积泵一样，当泵的排出口完全封闭时，泵内的压力就会上升到使泵损坏或使电动机过载的危险程度。所以，在泵的吸排口处，宝盟baumer测距传感器，就必须设置安全阀。螺杆泵的轴封，通常采用机械轴封，并可根据工作压力的高低采取不同的形式。 [4]
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