⑶真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。⑷正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有---的抽速,但不能抽---,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。
(2) 喷射真空泵:它是利用文丘里(venturi)效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵,适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种: 液体喷射真空泵:以液体(通常为水)为工作介质的喷射真空泵。 气体喷射真空泵:以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。 蒸汽喷射真空泵:以蒸汽(水、油或蒸汽)作为工作介质的饿喷射真空泵
该压力泵由机械、动力和控制三大部分组成。其机械部分由:(l)数字式电液比例控制泵(含泵体和配油机构);(2)传动机构(---滚珠丝杆);(3)机架组成。动力部分山步进电机和电源组成。控制部分山:(1)单片机;(2)压力传感器:(3)控制程序(自编)组成。其中数字式电液比例控制泵的设计制造是---实现压力控制泵高分辨率和---的关键。
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