为了使用方便和各种真空工艺过程的需要,有时将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等,这些泵是我国---各行业应用真空工艺过程中的主力泵种。
另外,有的真空泵不能在---压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于---压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。⑸真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,ege传感器,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
根据对市场需求的---,我们对控制器设定的主要设计参数和预期目标为:(l)泵的单个住复行程的排量为100ml:(2)输出脉冲当量为imm3/脉冲内可调;(3)额定压力为6.3map,小控制压力为0.imap:(4)压力精度小于1%;(5)0一imap调整时间小于100ms(6)容积效率大于97%。泵体设计
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