ege探测器-智能科技-漳州ege

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    2023-8-16

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(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。






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根据对市场需求的---,我们对控制器设定的主要设计参数和预期目标为:(l)泵的单个住复行程的排量为100ml:(2)输出脉冲当量为imm3/脉冲内可调;(3)额定压力为6.3map,小控制压力为0.imap:(4)压力精度小于1%;(5)0一imap调整时间小于100ms(6)容积效率大于97%。泵体设计







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并经第二级吸入与排出,漳州ege,这样真空设备可获得一定的真空。根据用户使用情况,可配备真空增压泵,将该泵做为前级泵,由于增压泵的抽气力加强,前级泵连续抽除,能使设备获得更高的真空。


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