平均自由程作无规则热运动的气体粒子,相继两次碰撞所飞越的平均距离,用符号“λ”表示。流量单位时间流过任意截面的气体量,符号用“q”表示,单位为帕·升/秒(pa·l/s)或托·升/秒(torr·l/s)。流导表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒(l/s),在稳定状态下,管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“u”。 u=q/(p2-一p1)压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力,用“p”表示。标准---压压强为每平方厘米101325达因的气压,符号:(atm)。
泵工作时,由于两从动螺杆与主动螺杆左右对称啮合,故作用在主动螺杆上的径向力完全平衡,主动螺杆不承受弯 曲负荷。从动螺杆所受径向力沿其整个长度都由泵缸衬套来支承,ege传感器,因此,不需要在外端另设 轴承,基本上也不承受弯曲负荷。在运行中,螺杆外圆表面和 泵缸内壁之间形成的一层油膜,可防止金属之间的直接接触,使螺杆齿面的磨损---减少。
根据对市场需求的---,我们对控制器设定的主要设计参数和预期目标为:(l)泵的单个住复行程的排量为100ml:(2)输出脉冲当量为imm3/脉冲内可调;(3)额定压力为6.3map,小控制压力为0.imap:(4)压力精度小于1%;(5)0一imap调整时间小于100ms(6)容积效率大于97%。泵体设计
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